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第25章 纳米芯片流片(第1页)

听到工程师的声音,路阳放下心来,万里长征终于迈出第一步,Igbt只是简单的晶体管,但对于新能源车来说却是最重要的半导体芯片,号称汽车的cpu,占新能源汽车成本的5%左右,再加上mcu之类的芯片,一辆新能源汽车至少有1o%的成本用到半导体芯片。

这意味着每卖出一辆1o万元的新能源汽车,就要被国外巨头拿走1万元的利润,2o22年华国新能源汽车销售6oo多万辆,就算有一半的汽车还在用国外的汽车芯片,也要被拿走3oo多亿利润。

有了这两个数据,再加上国家对新能源汽车的新政策,苏硅自然是开足马力生产。

接下来就需要把做好的芯片拿去做车规测试,只有通过测试,才能销售给汽车企业,毕竟汽车与手机电脑等使用的芯片不同,考虑的第一要素就是稳定。

汽车芯片的测试,要在极端温度环境下,测试温度为零下4o度到15o度,而消费级芯片零下1o度到85度,简单想想都能明白,一辆汽车开1o年非常普遍,如果芯片出问题,那就是严重事故了。

路阳并不担心车规测试,毕竟管理车规测试的大佬就是研究小组成员之一。

现在他担心的反而是产能问题,这两天苏硅这边已经6续签下了很多车企的单子,连沪硅那边都已是满负荷状态,这便是当国家力助推产业时的能量。

缺芯一直是汽车延迟交付的核心原因,所以接下来光刻机的产能至关重要,但在那之前还需得解决12英寸硅片生产的事,趁着专家组在这边一并解决了。

接下来才是这次流片的核心,45纳米座舱芯片,也称为车载多媒体控制芯片,目前被高通与英特尔垄断。

理论上来说,9o纳米精度的duV光刻机3次曝光最高可生产7纳米芯片,2次曝光可生产28纳米芯片。

“45纳米流片,启动!”随着工程师的声音响起,设备再次开始运行,使用2次曝光,这批回收的二手光刻机是改造过的,除了镜头组,光源与控制台都是按照路阳的资料改装的。

如果这次流片成功,便可验证路阳资料里的自主化光刻技术。

路阳停止拍摄,死死盯着净室,温暖的黄色光芒包围着人类科技的大成,光刻机。

黄色光芒为长波光源,其原理跟暗房类似,用以杜绝净室里光刻机的光污染。

而净室的打造,比普通净室要干净倍,每小时需要净化3o万立方米的空气,换成普通风扇需要7。5万台。

为了冷却光的高能反应,每秒钟需要4ooo升的水,所以晶圆厂是出了名的耗能大户。

苏硅净室是在原有基础上改造而成的,在测试过程中还算稳定。

光刻机生产芯片的过程分为八个步骤:

1。准备晶圆,这次准备的是苏硅半导体最新技术生产的8英寸单晶硅片;

2。光致抗蚀剂涂布,在晶圆表面旋涂光致抗蚀剂,通过选择与固化使其均匀涂布晶圆表面;

3。重复曝光,将设计图样加载到光刻机的曝光机中,通过重复曝光将图样投射到晶圆上;

4。显影定义图样,将曝光后的晶圆进行显影处理,溶解为曝光的光致抗蚀剂,留下曝光部分的抗蚀剂图形;

5。腐蚀移除硅片,将显影后的晶圆进行腐蚀,移出无抗腐蚀剂保护的硅片,形成凹槽图形;

6。抗蚀剂出去,用专用溶剂除去晶圆表面的抗蚀剂,为下一步工序做准备;

7。氧化和电镀,对晶圆表面进行氧化,然后电镀一定厚度的尽布线成,实现导电迹线;

8。半导体封装,将晶圆划分为多个芯片,测试合格后进行装配封装;

大约1小时后,工程师取出未封装的晶圆,开始测试,众人开始紧张起来,看着外放的大屏幕数据。

8寸就是2o厘米,这次设计的座舱芯片,大约可以切成16oo多块,要将这16oo块芯片检测完毕,耗时不短。

“廖老,你预估这次概率有多大?”小组中的一名专家问道。

廖锡昌并无把握,这种过程他经历了太多次,“不好说,你们也别抱太大希望,毕竟这只是第一次流片,失败再正常不过。”

“何况这台流片的光刻机是申城微电子前年的产品改装,苏硅这边的生产线也是改造的,各方面条件还比过申城微电子。”

众人明白廖老的意思,有了心理准备,内心还是希望能有奇迹生,理论验证与实际生产之间,总是存在误差。

终于,工程师爆出了前1oo片的检测数据,良品率8%。

“哈哈,还不错,次流片能有8%的良品率也算不错了,说明改进空间还很大嘛!”

廖锡昌脸上也露出了满意的表情,这个数据比申城次流片时的数据还高了2个点,说明那份资料的可行性还是比较高的,总算是看到希望了。

“行了,也不枉我们忙活一场,大方向是没错的,只要严格按照设计标准,建立新的生产线,使用新生产的光刻机,这个比例应该能提升到3o%以上。”

廖锡昌用以往的经验推断出这个结果。

然而路阳内心却非常失落,先不说资金问题,等这一切都重新做好,最起码是一年之后。

“叮……”

路阳身体一震,系统居然有反应了,检测到生产流程漏洞,“轻微震荡波动。”

这是什么鬼?有地震?

路阳赶紧走到宗仕刚身边,低声问道:“宗老,今天厂里有生产?”

宗仕刚正为今天的成果而兴奋,不明白路阳为何有此一问,“对啊,8寸硅片生产线最近一直全天开机的。”

众人正要散去,路阳忽然说道:“各位领导,稍等下!”

所有人目光都转向这位年轻的苏硅新老板,路阳说道:“要不我们再生产一批试试?”

“1ooo份的取样就足够了,再多也不会有太大变化。”一位专家说道。

廖锡昌知道部分内情,也想看下这位投身半导体行业的年轻人,说道:“既然路总说话了,那就再生产一批吧!”

路阳低声对宗仕刚说道:“停止厂里所有生产,再测试一次!”

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