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海思团队的这次参观意义重大,团队信心大增,设计方案更具体,分工更明确,所有人都踌躇满志的提出关于自己板块的具体思路。
第二天路阳便停止了生产线的运行,开始分拆设备,这次的升级改造主要分三个方向。
先是镜头模组的升级,一台光刻机的镜头占据总成本的三至四成,现在使用的这台光刻机镜头组一共32枚镜片,直径1。2米,高2。3米,总重量接近1吨,上中下采用了三组结构对称的正负透镜组,负责分摊球差,平衡场曲,抵消畸变。
光刻机的镜片并非越多越好,光在每次透射或反射时,都会损失部分能量,镜片越多,对光源的能量损耗就越大。
能量损失可以通过加大光源功率弥补,但问题是镜片吸收的那部分能量会使镜片热,且这些热量又都会集中在中部的镜片组,会导致曝光焦距和场曲的变化,影响光刻的良率。
为了解决热的影响,光刻机镜头组必须配备热仿真效应和实时校准功能,根据照明条件、曝光计量以及光掩膜的透光度及时调整某些镜片的位置和形变,来进行校准和补偿。
所以中间的镜头组中,有几枚镜片是要能移动的,这无形又给镜头组增加了设计难度。
当初申城微电子在矫正主光轴的时候,简直就是噩梦级难度,花了近三年时间才完成。
如此珍贵的镜头组,还得给它外部配备水冷套装,内部配气冷套装。
于是这次镜头组改进方案就集中在减少镜片数量,再根据具体的数量设计中部镜头组,配备对应的热仿真效应与校准功能,同时还要设计全新的冷却系统,最终实现精度从9o纳米提高到28纳米。
其次便是要根据镜头组来设计整套光学照明系统,这部分难度相对要低些,浸没式光刻的技术廖老那边已有对应的方案。
最后则是双工件台的设计,路阳的解决方案就是先让它动起来,通过系统来优化。
何洪年将带来团队分成了五个大组,第一组负责镜头组设计,第二组负责照明系统,第三组负责浸没式光刻技术,第四组负责双工件台,第五组负责硬件设备。
光刻机分拆后,五个大组分五天时间研究对应部件,第一轮参观结束给出对应的优化方案。
就在生产线暂停的第三天,季一楠终于带着朱易团队赶到苏硅半导体,路阳跟何洪年在会议室见到了对方团队。
“朱教授,早闻大名,您能过来帮忙解决了我们的大问题啊。”何洪年一改往日的严肃,握着朱易的手说道,这两天工件台方面可以说是完全没有进展。
朱易年纪比何洪年要小很多,正值45岁的的黄金时期,其创建的华卓工件,是华国第一家在双工件台技术上取得突破的企业,同时还兼任清大Ic制造装备研究院副院长。
见何洪年如此热情,朱易也非常感动,毕竟海思这些年在国际上的声誉都是一次次硬仗打出来的。
“何总过誉了,小季找到我说华芯跟海思联合设计光刻机,需要我们的双工件台技术,华卓备感荣幸。”
季一楠笑着给朱易介绍道:“朱教授,这位就是我们华芯的董事长路阳。”
“朱教授,您好,实在太感谢您了,廖老一直跟我说起您在双工件台领域取得的成就,这次有您的加入我们一定能取得成功。”
感叹于路阳的年轻,朱易对华芯更加好奇了。
一周前季一楠找到了他,说华芯在制造光刻机,需要使用华卓的双工件台技术,对于一家建立不到半年的企业,朱易自然没放心上,奈何季一楠实在太能磨了,在华卓那边整整守了7天,一有机会便会给他介绍情况,几天下来,随着了解的深入,他也逐渐来了兴趣。
值得一提的是这次季一楠完全是靠自己说服的朱易,并未通过任何上层关系。
“路总还真是年轻有为啊,身在京城都能听到苏硅的事迹。”
一番寒暄介绍后,何洪年把具体的情况做了大致介绍,朱易听到要直接跨过45纳米制造28纳米精度的duV光刻机后摇头苦笑道。
“诸位高看华卓了,双工件台技术我们目前还在全力攻克9o纳米精度,距离真正的落地至少还需要2年时间,28纳米太远了。”跟随朱易一起到来的几人也纷纷点头。
海思的业内大名无人不知,再加上华微最近的事情,众人都以为这次是华微牵头找了个地方造光刻机,算是华微的反击,但听到是要制造28纳米光刻机纷纷感慨,既佩服华微的勇气,也有点觉得这是在急病乱投医。
何洪年明白华卓众人的想法,继续说道:
“这个项目的技术顾问是廖老,他对华卓的技术是非常认可的,只是廖老目前在忙着浸没式光刻技术的研,过几天他会过来,对于28纳米使用双工件台的技术难度也是知道的,廖老的意思是我们先不考虑误差问题,做出匹配28纳米精度的双工件台,他那边会组织人手来联合攻克。”
朱易双眼突然一亮,廖老的地位摆在那里,自然不会说大话,作为华国的院士,如果他组织人手攻克的话并非完全没有机会,这对华卓来说也许是一次难得的机会。
“不考虑误差?廖老真这么说了?”
“是的,如今申城微电子那边正在攻克浸没式光刻技术的团队,都是廖老组织的,可以说是华国在半导体领域最强的研团队了,如果没有他们,海思也不会把精度定到28纳米,这次过来的研团队,负责双工件台的科学家大部分是华微总部派来的,接近1oo多人。”
看来华微铁了心要做光刻机了,紧要关头能派这么多科学家参与这个项目,朱易心中那点疑虑彻底消散。
“既然廖老跟海思都下定了决心,我们一定全力以赴!”
讨论结束后何洪年带着朱易一行去车间参观,路阳带着季一楠来到一旁。
“一楠,你瘦了,人也变漂亮啦,这次的事干得漂亮!”
“哎哟,我们路总什么时候开始学会油嘴滑舌了,我不在这段时间还在跑步吗?”
“每天都在坚持打卡,你没现我变壮了吗?哈哈”
说完路阳抬起手臂,展示最近的成果。
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